超高纯度含氟聚合物（PFA）阀 - 22系列

这些新型的、清洁的、材质为含氟聚合物的手动和气动阀门大大提高了流量，并提供更好的增强型阀座密封，增强无泄漏性能，提供了更大的安全性。它们旨在以更小的体积提供更高的流量。采用计算流体动力学软件来更大化通过这些阀门的流量。这类净化阀适用于半导体液体应用，包括高浓度酸和碱，明确的其他化学物质和浆液。因其清洁度和拥有高度的耐化学腐蚀性能，对于其他严苛的市场应用，也可以使用这些阀门

特点与优势:
·耐酸和浆料，循环使用寿命长
.简洁的标识，真正的上锁挂牌设计(LOTO)
.双点密封提供双倍的密封效能
·平滑的钻孔和可清扫的流道，大限度地减小颗粒捕获区域并有效减少截留区的形成
.通过泄漏测试
·符合SEMI-F57-0301标准
关键应用:
.化学机械抛光(CMP)浆料
.超高纯度工艺
·明确的半导体工艺化学物质
.搅拌机系统
.清洁系统